气动超高真空插板阀

CCQ型－气动超高真空插板阀：

CCQ型气动超高真空插板阀是通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动阀板作上下运动，达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体，带反馈信号装置。

CCQ型－气动超高真空插板阀主要技术性能

适用范围：	105～1.3×10-7Pa
阀门漏率：	≤1.3×10-7Pa.L/S.DN≤200 　≤6.7×10-7Pa.L/S.DN≥250
适用温度：	-30～+150℃
阀门开启时阀板两侧的压差：	≤2.7×103Pa.
气源压力：	0.4～0.6MPa

CCQ型－气动超高真空插板阀主要零件材料

阀体、阀板：不锈钢
密封件：氟橡胶、波纹管轴封、丁腈橡胶。
CCQ型－气动超高真空插板阀外形及连接尺寸mm